-
Bagian Keramik Cincin Keramik Presisi Tinggi Alumina
Diwangun ku cara dipencét isostatik tiis sareng disinter dina suhu anu luhur, teras dimesin sareng dipoles sacara presisi, suku cadang keramik ieu tiasa nyumponan sarat anu ketat pikeun peralatan semikonduktor kalayan fitur-fiturna sapertos tahan aus, tahan korosi, ékspansi termal anu handap, sareng insulasi. Keramik tiasa dianggo dina seueur jinis peralatan produksi semikonduktor kalayan kaayaan suhu anu luhur, vakum atanapi gas korosif salami waktos anu lami.
Dijieunna tina bubuk alumina kamurnian luhur, diprosés ku cara dipencét isostatik tiis, sintering suhu luhur sareng finishing presisi, éta tiasa ngahontal toleransi diménsi dugi ka ±0,001 mm, finish permukaan Ra 0,1, résistansi suhu 1600 ℃.
-
Chuck Keramik Peralatan Semikonduktor Khusus ST.CERA
Diwangun ku cara dipencét isostatik tiis sareng disinter dina suhu anu luhur, teras dimesin sareng dipoles sacara presisi, suku cadang keramik ieu tiasa nyumponan sarat anu ketat pikeun peralatan semikonduktor kalayan fitur-fiturna sapertos tahan aus, tahan korosi, ékspansi termal anu handap, sareng insulasi. Keramik tiasa dianggo dina seueur jinis peralatan produksi semikonduktor kalayan kaayaan suhu anu luhur, vakum atanapi gas korosif salami waktos anu lami.
Dijieunna tina bubuk alumina kamurnian luhur, diprosés ku cara dipencét isostatik tiis, sintering suhu luhur sareng finishing presisi, éta tiasa ngahontal toleransi diménsi dugi ka ±0,001 mm, finish permukaan Ra 0,1, résistansi suhu 1600 ℃.
-
Efektor Tungtung Keramik Silikon Karbida (SiC) – Kakakuan Luhur pikeun Pangaturan Wafer Suhu Luhur
Éféktor tungtung keramik SiC St.Cera didamel tina silikon karbida kamurnian luhur (eusi SiC 99,72%, Si bébas 0,05%) nganggo bahan bets S1111. Éta nawiskeun sipat mékanis anu luar biasa: kakuatan fléksibel 449 MPa (diukur), modulus élastis 457 GPa (diukur), sareng karasana Vickers 25–28 GPa (khas). Dénsitas anu handap (3,10–3,15 g/cm³, khas) nyayogikeun kaku spésifik anu luhur, idéal pikeun robot transfer wafer kecepatan tinggi. Kalayan konduktivitas termal 120–150 W/m·K (khas) sareng koéfisién ékspansi termal 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (khas), éféktor tungtung ieu sacara efektif ngaleungitkeun panas sareng ngajaga stabilitas diménsi salami penanganan suhu luhur (dugi ka 1600–1700°C, tanpa beban). Warna hideung/abu-abu sareng panyerepan cai nol mastikeun kasaluyuan kamar bersih.
-
Chuck Vakum Berbasis Silikon Karbida (SiC) pikeun Lingkungan Suhu Luhur & Plasma
Chuck keramik basis SiC ti St.Cera didamel tina silikon karbida kamurnian luhur (batch S1111, SiC 99,72%, Si bébas 0,05%). Chuck ieu ngahasilkeun kakuatan fléksibel anu diukur 449 MPa, kateguhan retakan 3,12 MPa·m¹/², sareng modulus élastis 457 GPa. Konduktivitas termal has bahan ieu (120–150 W/m·K) sareng ékspansi termal anu handap (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) ngamungkinkeun paningkatan suhu anu gancang sareng warpage wafer minimal salami siklus termal. Chuck ieu tiasa dikonfigurasi salaku chuck vakum berpori (aliran gas seragam) atanapi chuck standar beralur. Kalayan suhu panggunaan maksimum 1600–1700°C (tanpa beban) sareng résistansi erosi plasma anu luar biasa, chuck ieu idéal pikeun pamrosésan wafer suhu luhur (annealing, RTP) sareng ruang etsa agrésif dimana chuck alumina degradasi.
-
Peralatan Semikonduktor Suku Cadang Keramik Pembawa Keramik
Diwangun ku cara dipencét isostatik tiis sareng disinter dina suhu anu luhur, teras dimesin sareng dipoles sacara presisi, suku cadang keramik ieu tiasa nyumponan sarat anu ketat pikeun peralatan semikonduktor kalayan fitur-fiturna sapertos tahan aus, tahan korosi, ékspansi termal anu handap, sareng insulasi. Keramik tiasa dianggo dina seueur jinis peralatan produksi semikonduktor kalayan kaayaan suhu anu luhur, vakum atanapi gas korosif salami waktos anu lami.
Dijieunna tina bubuk alumina kamurnian luhur, diprosés ku cara dipencét isostatik tiis, sintering suhu luhur sareng finishing presisi, éta tiasa ngahontal toleransi diménsi dugi ka ±0,001 mm, finish permukaan Ra 0,1, résistansi suhu 1600 ℃.
-
Cincin Gerinda Keramik Alumina anu Didukung Logam pikeun Aplikasi Lapping Kaku Tinggi
Cincin panggiling alumina basis logam St.Cera ngagabungkeun lapisan aus keramik alumina kamurnian tinggi (99,8% Al₂O₃) kalayan lapisan logam anu dimesin sacara presisi (biasana aluminium atanapi stainless steel). Desain hibrida ieu nyayogikeun résistansi aus anu luar biasa sareng inertitas kimia keramik dina permukaan panggiling, sedengkeun dasar logam nambihan kakuatan mékanis, gampang dipasang, sareng résistansi kana retakan rapuh. Lapisan alumina nawiskeun kakuatan fléksibel 361 MPa, karasana Vickers 16 GPa, sareng stabilitas termal dugi ka 800°C. Dasar logam disaluyukeun ku liang pemasangan, pin lokasi, atanapi sipat magnét pikeun integrasi kana mesin lapping, panggiling planét, sareng peralatan CMP.
-
Suku Cadang Keramik pikeun Peralatan Stasion Probe Semikonduktor
Diwangun ku cara dipencét isostatik tiis sareng disinter dina suhu anu luhur, teras dimesin sareng dipoles sacara presisi, suku cadang keramik ieu tiasa nyumponan sarat anu ketat pikeun peralatan semikonduktor kalayan fitur-fiturna sapertos tahan aus, tahan korosi, ékspansi termal anu handap, sareng insulasi. Keramik tiasa dianggo dina seueur jinis peralatan produksi semikonduktor kalayan kaayaan suhu anu luhur, vakum atanapi gas korosif salami waktos anu lami.
Dijieunna tina bubuk alumina kamurnian luhur, diprosés ku cara dipencét isostatik tiis, sintering suhu luhur sareng finishing presisi, éta tiasa ngahontal toleransi diménsi dugi ka ±0,001 mm, finish permukaan Ra 0,1, résistansi suhu 1600 ℃.
-
Pangolahan Khusus tina Chuck Wafer Keramik Al2O3
Diwangun ku cara dipencét isostatik tiis sareng disinter dina suhu anu luhur, teras dimesin sareng dipoles sacara presisi, suku cadang keramik ieu tiasa nyumponan sarat anu ketat pikeun peralatan semikonduktor kalayan fitur-fiturna sapertos tahan aus, tahan korosi, ékspansi termal anu handap, sareng insulasi. Keramik tiasa dianggo dina seueur jinis peralatan produksi semikonduktor kalayan kaayaan suhu anu luhur, vakum atanapi gas korosif salami waktos anu lami.
Dijieunna tina bubuk alumina kamurnian luhur, diprosés ku cara dipencét isostatik tiis, sintering suhu luhur sareng finishing presisi, éta tiasa ngahontal toleransi diménsi dugi ka ±0,001 mm, finish permukaan Ra 0,1, résistansi suhu 1600 ℃.
-
Pelat Keramik Peralatan Semikonduktor Khusus ST.CERA
Diwangun ku cara dipencét isostatik tiis sareng disinter dina suhu anu luhur, teras dimesin sareng dipoles sacara presisi, suku cadang keramik ieu tiasa nyumponan sarat anu ketat pikeun peralatan semikonduktor kalayan fitur-fiturna sapertos tahan aus, tahan korosi, ékspansi termal anu handap, sareng insulasi. Keramik tiasa dianggo dina seueur jinis peralatan produksi semikonduktor kalayan kaayaan suhu anu luhur, vakum atanapi gas korosif salami waktos anu lami.
Dijieunna tina bubuk alumina kamurnian luhur, diprosés ku cara dipencét isostatik tiis, sintering suhu luhur sareng finishing presisi, éta tiasa ngahontal toleransi diménsi dugi ka ±0,001 mm, finish permukaan Ra 0,1, résistansi suhu 1600 ℃.
-
Chuck Vakum Alumina 12 Inci pikeun Pangolahan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci ti St.Cera dirarancang sacara presisi tina 99,8% alumina murni tinggi (Al₂O₃) pikeun penanganan wafer 300mm. Chuck ieu ngagaduhan permukaan anu alurna lemes (lébar alur 0,5–1,0 mm, pitch 2–3 mm) pikeun mastikeun distribusi vakum anu seragam di sakumna diaméter 300mm. Kerataan dijaga dina 5 μm, ngamungkinkeun fiksasi wafer anu bébas warp nalika dicing, ngagiling sisi tukang, sareng pamariksaan. Kakuatan fléksibel bahan anu luhur (361 MPa) sareng karasana (16 GPa) ngajamin stabilitas diménsi jangka panjang bahkan dina siklus vakum anu diulang-ulang.
-
Efektor Tungtung Keramik Alumina kalayan Saluran Vakum Terpadu
Éféktor tungtung vakum alumina St.Cera ngahijikeun saluran vakum anu dimesin sacara presisi sareng liang sedot langsung kana awak alumina murni 99,8%. Desain ieu ngaleungitkeun bantalan vakum éksternal, ngamungkinkeun pengambilan wafer langsung kalayan gaya nahan anu seragam. Kakuatan fléksibel bahan anu luhur (361 MPa) sareng karasana (16 GPa) mastikeun stabilitas diménsi jangka panjang dina siklus vakum anu diulang. Karataan di sakuliah daérah bantalan dijaga dina 10 μm, nyegah setrés wafer sareng karusakan. Port vakum ayana di flens pemasangan tukang pikeun integrasi anu gampang sareng panangan robot OEM.
-
Bagian Keramik Alumina Aman-ESD pikeun Penanganan Wafer Sensitif-Statis
Bagian keramik alumina anu aman pikeun ESD (electrostatic discharge) ti St.Cera didamel tina 99,8% Al₂O₃ anu kualitasna luhur kalayan résistansi permukaan anu disaluyukeun 10⁶–10⁹ Ω/sq, anu kahontal ngalangkungan prosés doping atanapi palapis anu dipatenkeun. Bagian-bagian ieu sacara efektif ngaleungitkeun muatan statis, nyegah karusakan éléktrostatik kana wafer sareng alat semikonduktor anu sénsitip. Bahan dasar nahan kakuatan fléksibel anu luhur (361 MPa), karasa (16 GPa), sareng kakuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Bagian keramik anu aman pikeun ESD kalebet efektor tungtung, pin angkat, rel pituduh, sareng perlengkapan khusus pikeun otomatisasi FAB.
