Digabungkeun sareng kaunggulan kinerja komprehensif tina bahan substrat Al2O3 sareng BeO tradisional, keramik Aluminium Nitrida (AlN), anu gaduh konduktivitas termal anu luhur (konduktivitas termal téoritis monokristal nyaéta 275W/m▪k, konduktivitas termal téoritis polikristal nyaéta 70 ~ 210W/m▪k), konstanta dielektrik anu handap, koefisien ékspansi termal anu cocog sareng silikon kristal tunggal, sareng sipat insulasi listrik anu saé, mangrupikeun bahan anu idéal pikeun substrat sirkuit sareng kemasan dina industri mikroéléktronika. Éta ogé mangrupikeun bahan anu penting pikeun komponén keramik struktural suhu luhur kusabab sipat mékanis suhu luhur anu saé, sipat termal sareng stabilitas kimia.
Kapadetan téoritis AlN nyaéta 3.26g/cm3, karasana MOHS nyaéta 7-8, résistansi suhu kamar leuwih gedé ti 1016Ωm, jeung ékspansivitas termal nyaéta 3.5×10-6/℃ (suhu kamar 200℃). Keramik AlN murni teu warnaan jeung transparan, tapi warnana rupa-rupa kawas kulawu, bodas kulawu atawa konéng ngora, alatan kokotorna.
Salian ti konduktivitas termal anu luhur, keramik AlN ogé gaduh kaunggulan ieu:
1. Insulasi listrik anu saé;
2. Koéfisién ékspansi termal anu sami sareng silikon monokristal, langkung unggul tibatan bahan sapertos Al2O3 sareng BeO;
3. Kakuatan mékanis anu luhur sareng kakuatan fléksibel anu sami sareng keramik Al2O3;
4. Konstanta dielektrik sedeng sareng karugian dielektrik;
5. Dibandingkeun sareng BeO, konduktivitas termal keramik AlN kirang kapangaruhan ku suhu, khususna di luhur 200℃;
6. Résistansi suhu luhur sareng résistansi korosi;
7. Henteu toksik;
8. Bisa diterapkeun kana industri semikonduktor, industri metalurgi kimia sareng widang industri anu sanésna.
Waktos posting: 14-Jul-2023