Efektor Tungtung Keramik Silikon Karbida (SiC) – Kakakuan Luhur pikeun Pangaturan Wafer Suhu Luhur
Éféktor tungtung keramik SiC St.Cera didamel tina silikon karbida kamurnian luhur (eusi SiC 99,72%, Si bébas 0,05%) nganggo bahan bets S1111. Éta nawiskeun sipat mékanis anu luar biasa: kakuatan fléksibel 449 MPa (diukur), modulus élastis 457 GPa (diukur), sareng karasana Vickers 25–28 GPa (khas). Dénsitas anu handap (3,10–3,15 g/cm³, khas) nyayogikeun kaku spésifik anu luhur, idéal pikeun robot transfer wafer kecepatan tinggi. Kalayan konduktivitas termal 120–150 W/m·K (khas) sareng koéfisién ékspansi termal 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (khas), éféktor tungtung ieu sacara efektif ngaleungitkeun panas sareng ngajaga stabilitas diménsi salami penanganan suhu luhur (dugi ka 1600–1700°C, tanpa beban). Warna hideung/abu-abu sareng panyerepan cai nol mastikeun kasaluyuan kamar bersih.
Spésifikasi(dumasar kana laporan uji SiC S1111 anu disayogikeun & nilai has):
| Properti | Nilai |
| Bahan | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si Bébas) |
| Warna | Hideung/Abu-abu |
| Kapadetan | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Nyerep Cai | 0% |
| Kakuatan Fleksibel | 449 MPa (rata-rata) |
| Kateguhan Patah | 3.12 MPa·m¹/² (rata-rata) |
| Modulus Elastis | 457 GPa |
| Vickers Hardness | 25–28 GPa |
| Konduktivitas Termal (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Panggunaan Maks (tanpa beban) | 1600–1700°C |
Aplikasi:
● Penanganan wafer suhu luhur (pasca-anil, RTP, epitaksi)
● Kamar etsa plasma anu meryogikeun résistansi erosi anu luhur
● Robot transfer kecepatan tinggi (enteng, kaku)
Manufaktur:
Sintering bubuk SiC → grinding CNC presisi tina profil panangan sareng fitur pemasangan → lapping permukaan → beberesih ultrasonik. Inspeksi diménsi 100% sareng uji bocor hélium pikeun aplikasi vakum.
Kontrol Kualitas:
● Pamariksaan CMM pikeun panjang, lébar, sareng rata
● Uji kakuatan fléksibel per angkatan (per standar laporan tés)
● Pamariksaan visual dina mikroskop pikeun cacad permukaan
Kaunggulan dibandingkeun Alumina atanapi Logam:
● Modulus élastis 2× leuwih luhur (457 vs ~380 GPa pikeun alumina) – defleksi anu leuwih saeutik
● Konduktivitas termal 3× leuwih luhur – disipasi panas leuwih gancang
● Tahan suhu >1600°C dibandingkeun alumina 800°C dina hawa
● Kapadetanna leuwih handap tibatan baja – pangurangan beurat 40%
Kustomisasi:
Panjangna 150–450 mm, bentuk tungtung (cecekelan sisi, Bernoulli, datar), pola flens pamasangan per gambar OEM.
*Sadaya data mékanis di luhur asalna tina laporan tés anu disayogikeun (batch S1111). Nilai termal sareng karasa khas pikeun kelas SiC ieu; mangga ngahubungi kami pikeun sertifikasi khusus lot.*
