Chuck Vakum Alumina 12 Inci pikeun Pangolahan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci ti St.Cera dirarancang sacara presisi tina 99,8% alumina murni tinggi (Al₂O₃) pikeun penanganan wafer 300mm. Chuck ieu ngagaduhan permukaan anu alurna lemes (lébar alur 0,5–1,0 mm, pitch 2–3 mm) pikeun mastikeun distribusi vakum anu seragam di sakumna diaméter 300mm. Kerataan dijaga dina 5 μm, ngamungkinkeun fiksasi wafer anu bébas warp nalika dicing, ngagiling sisi tukang, sareng pamariksaan. Kakuatan fléksibel bahan anu luhur (361 MPa) sareng karasana (16 GPa) ngajamin stabilitas diménsi jangka panjang bahkan dina siklus vakum anu diulang-ulang.
Spésifikasi (dumasar kana 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Diaméter | 300 mm (12 inci) |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Karataan (leuwih ti 300mm) | ≤5 μm |
| Lebar Alur | 0,5–1,0 mm |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
| Kakuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
Meulah jeung ngagunting wafer 300mm
Ngagiling sisi tukang wafer (panopang wafer ipis)
Inspeksi optik sareng probing
Chuck pangiket/pangurangan ikatan samentawis
Manufaktur:
Digiling CNC teras di-lap dugi ka rata, dialur nganggo roda inten, dibersihkeun sacara ultrasonik, teras dibungkus dina kamar bersih Kelas 100. Unggal chuck dipariksa 100% pikeun rata (interferometer laser) sareng jerona alur (profilometer).
Kauntungan:
Generasi partikel anu handap (≤0,05 partikel/cm²)
Sacara kimiawi inert kana pangleyur jeung asam
Beungeut anu aman pikeun ESD (résistivity >10¹³ Ω·cm)
Pola liang vakum khusus sareng port tukang sayogi.
