Chuck Vakum Keramik Berpori Berbasis Alumina pikeun Penanganan Wafer Ipis
Chuck porous basis alumina St.Cera didamel tina 99,6% Al₂O₃ murni kalayan porositas kabuka anu dikontrol 30–45% sareng ukuran pori anu seragam ti mimiti 10 dugi ka 50 μm. Teu sapertos chuck anu beralur, permukaan porous nyayogikeun vakum anu disebarkeun di sakumna sisi tukang wafer, ngaleungitkeun tanda ujung sareng ngamungkinkeun panahan anu lemes pikeun wafer ultra-ipis (≤100 μm) atanapi wafer anu melengkung. Bahan ieu nawiskeun kakuatan fléksibel ≥250 MPa sareng stabilitas termal dugi ka 400°C dina hawa.
Spésifikasi(dumasar kana 99,6% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,6% Alumina (Bodas) |
| Porositas | 30–45% (tiasa disaluyukeun) |
| Ukuran Pori Rata-rata | 10–50 μm |
| Kakuatan Fleksibel | ≥250 MPa |
| Kapadetan | 3,88 g/cm³ |
| Karataan (leuwih ti 200mm) | ≤5 μm |
| Suhu Operasi Maks. | 400°C (hawa) |
| Beungeut Rengse | Dilapis (Ra ≤0,8 μm) |
Aplikasi:
- · Panggilingan sisi tukang wafer ipis (≤50 μm)
- · Pemasangan wafer melengkung pikeun motong dadu
- · Pangambilan dadu tunggal
- · Pangaturan substrat kaca
Manufaktur:
Bubuk dicampur jeung pambentuk pori → pencét isostatik → sintering dina suhu 1600°C → lapping nepi ka ketebalan ahir. Unggal chuck diuji aliran pikeun keseragaman vakum (simpangan tekanan <5%) sareng dipariksa pikeun distribusi ukuran pori (SEM).
Kaunggulan dibandingkeun sareng chuck konvensional:
- · Teu aya tanda sisi tukang wafer atanapi die shift
- · Nahan wafer kalayan busur dugi ka 500 μm
- · Beungeut anu ngabersihkeun sorangan (pori-pori tahan panyumbatan)
- · Pangrojong seragam ngaleungitkeun setrés lokal
Ckustomisasi:
Wangun buleud atanapi pasagi, diaméter 100–450 mm. Cincin segel sisi sayogi pikeun kontrol vakum anu dikategorikeun.
Nyuhunkeun conto pikeun ukuran wafer khusus anjeun.
