Chuck Vakum Alumina pikeun Dadu & Grinding Presisi
Chuck vakum alumina St.Cera didamel tina 99,8% Al₂O₃ anu kualitasna luhur kalayan alur vakum anu diolah kalayan presisi. Kamampuan ngagiling presisi kami ngahontal kerataan 0,003mm sareng paralelisme 0,002mm, mastikeun fiksasi wafer anu bébas lungsin nalika dicing, ngagiling sisi tukang, sareng pamariksaan. Bahan ieu nawiskeun kakuatan fléksibel anu luhur (361 MPa), karasana (16 GPa), sareng stabilitas termal dugi ka 800°C. Sadia dina format buleud dugi ka diaméter luar (OD) 600mm sareng bentuk pasagi panjang dugi ka 1500mm. Alur vakum dirancang khusus (pola konsentris, radial, atanapi grid) pikeun nyocogkeun kana sarat prosés khusus. Unggal chuck dipariksa ku interferometer laser sareng disayogikeun laporan verifikasi kerataan.
Spésifikasi (dumasar kana 99,8% Al₂O₃& kamampuan manufaktur St.Cera):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Diaméter Luar (maks) | 600mm |
| Kandel (maks) | 100mm |
| Panjang (maks) | 1500mm |
| Karataan | 0,003mm |
| Paralelisme | 0,002mm |
| Beungeut Rengse | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
Aplikasi:
- · Ngapotong jeung ngagunting wafer (200mm/300mm jeung nu leuwih gede)
- · Ngagiling wafer ipis ti tukang
- · Inspeksi optik sareng probing
- · Pangaturan substrat anu ageung
Presisi Manufaktur:
- · Kalurusan: 0.005mm
- · Tegak lurus: 0,005mm
- · Kabunderan: 0.002mm
- · Konsentrisitas: 0.01mm
