Chuck Vakum Standar Berbasis Alumina – Kaku Luhur pikeun Mesin Presisi
Chuck vakum basis alumina ieu didamel tina 99,8% Al₂O₃, nawiskeun permukaan anu mulus sareng henteu keropos kalayan pola alur vakum khusus. Éta nyayogikeun kaku anu luar biasa (modulus Young 380 GPa) sareng kerataan (≤3 μm), jantenkeun idéal pikeun ngagiling, ngaleutikan, sareng motong wafer semikonduktor sareng komponén optik kalayan presisi. Konduktivitas termal bahan anu luhur (32 W/m·k) mastikeun keseragaman suhu salami diprosés.
Spésifikasi(dumasar kana 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Karataan | ≤3 μm (leuwih ti 200mm) |
| Kasar Permukaan (sisi chuck) | Ra ≤0,4 μm |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
Aplikasi:
- · Ngagiling sisi tukang wafer (kasar jeung lemes)
- · Ngapotong bahan anu rapuh kalayan presisi
- · Ngalapis substrat keramik
- · Ngagosok lénsa optik
Manufaktur:
Ngalapis dua sisi kalawan presisi → alur inten (opsional) → pembulatan sisi → beberesih ultrasonik → inspeksi kerataan 100% nganggo interferometer laser.
Akauntungan:
- · Pangrojong kaku ngaminimalkeun defleksi dina beban
- · Teu aya generasi partikel tina struktur porous
- · Gampang dibersihkeun (cocog sareng pangleyur)
- · Alur vakum anu tiasa disaluyukeun (konséntris, radial, pola khusus)
Ukuran anu sayogi:
Buleud: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; pasagi/saparapat upami dipénta.
Kami ogé nawiskeun vérsi basis logam pikeun kakuatan mékanis anu langkung luhur.
