Inti Keramik Alumina Kamurnian Tinggi pikeun Perlengkapan Semikonduktor
Inti keramik alumina St.Cera dibentuk tina 99,8% Al₂O₃ anu kualitasna luhur, nawiskeun kakuatan dielektrik anu luar biasa (15 × 10⁶ V/m), stabilitas termal dugi ka 1600°C, sareng résistansi mumbul dina beban. Inti ieu dianggo salaku komponén struktural dina perlengkapan prosés suhu luhur, dasar pemanas, lapisan ruang plasma, sareng insulator listrik. Karasa bahan anu luhur (16 GPa) sareng panyerepan cai anu handap (0%) mastikeun reliabilitas jangka panjang dina lingkungan anu keras.
Spésifikasi(dumasar kana 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kateguhan Patah | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Ékspansi Termal (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kakuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Résistansi Spésifik | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Suhu Operasi Maks. | 1600°C |
Aplikasi:
- · Inti pemanas pikeun réaktor epitaksial
- · Pelapis sareng pelat panutup kamar plasma
- · Isolator listrik tegangan luhur
- · Dasar perlengkapan pikeun robot penanganan wafer
Manufaktur:
Pencét isostatik → mesin héjo → sintering dina 1600°C → panggilingan CNC dugi ka diménsi ahir (toleransi ± 0,01 mm). Unggal inti dipariksa ku CMM sareng deteksi cacad ultrasonik.
Pamastian kualitas:
Disertifikasi ISO 9001:2015. Uji penetrasi pewarna pikeun retakan permukaan; uji kakuatan dielektrik per ASTM D149.
Akaunggulan dibandingkeun keramik anu sanés:
- · Kakuatan dielektrik anu langkung luhur tibatan zirkonia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Biaya anu langkung handap tibatan SiC pikeun aplikasi non-plasma
- · Résistansi kimia anu saé pisan kana halogen (kajaba HF)
Wangun Adat:
Silinder, batang pasagi, pelat, atanapi géométri anu rumit. Ukuran fitur minimum 0,5 mm.
Hubungi kami kanggo desain inti khusus sareng dukungan simulasi termal.
