Efektor Tungtung Keramik Alumina Kamurnian Tinggi pikeun Robot Pangolah Wafer

Éféktor tungtung keramik alumina St.Cera dimesin sacara presisi tina 99,8% Al₂O₃ anu luhur kamurnianana nganggo alat panggilingan CNC 5-sumbu anu canggih. Kamampuan manufaktur kami kalebet mesin panggilingan presisi sareng pusat mesin CNC, anu ngamungkinkeun géométri anu rumit kalayan presisi anu luhur. Éféktor tungtung ngagaduhan profil ipis (ipis sapertos 1,5 mm) kalayan ujung utama anu meruncing pikeun sisipan wafer anu mulus. Bahan ieu nyayogikeun kaku anu luhur (modulus Young 380 GPa), résistansi aus anu saé, sareng stabilitas termal dugi ka 800°C. Unggal unit digiling sacara presisi pikeun ngahontal kerataan 0,003mm, paralelisme 0,002mm, sareng permukaan Ra0.1, mastikeun kontak wafer anu konsisten sareng operasi bébas partikel dina lingkungan FAB semikonduktor. Sadia dina panjang ti 150 mm dugi ka 450 mm, kalayan géométri ujung khusus (cengkraman ujung, Bernoulli, datar) sareng flensa pemasangan pikeun nyocogkeun ka robot OEM. Pilihan lapisan akhir permukaan kalebet lapisan lapped, polesan, atanapi lapisan disipatif ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Spésifikasi (dumasar kana 99,8% Al₂O₃& kamampuan manufaktur St.Cera):

Aplikasi:

• · Transfer wafer dina robot vakum sareng atmosfir
• · Éféktor tungtung otomatisasi FAB pikeun wafer 200mm/300mm
• · Penanganan wafer ipis (kalayan pilihan ESD)

Kamampuh Manufaktur:
Mesin gerinda presisi sareng pusat mesin CNC kami ngamungkinkeun produksi komponén keramik anu rumit kalayan:

• · Panjang mesin maksimum: 1500mm
• · Diaméter luar maksimum: 600mm
• · Diaméter jero minimum: 0.2mm
• · Kandel maksimum: 100mm

Kontrol Kualitas:
Kalurusan 0,005mm, tegak lurus 0,005mm, buleud 0,002mm, paralelisme 0,002mm, konsentrisitas 0,01mm diverifikasi ku CMM. Unggal unit dibersihkeun sacara ultrasonik sareng dipak dina kamar bersih Kelas 100.