Chuck Vakum SiC Berpori anu Didukung Logam pikeun Penanganan Wafer Anu Bengkok & Ipis
Chuck vakum keramik basis logam St.Cera ngagabungkeun lapisan keramik silikon karbida (SiC) porous sareng dasar logam anu dimesin sacara presisi (aluminium atanapi stainless steel). Bahan SiC porous (biru-hideung, porositas 35–40%, ukuran pori 20–30 μm, permeabilitas 60 ml/cm²·mnt) nyayogikeun distribusi vakum anu seragam sareng lemes di sakumna permukaan wafer, ngaleungitkeun tanda ujung sareng ngamungkinkeun dukungan non-kontak pikeun wafer ipis (≤100 μm) atanapi bengkok. Lapisan SiC nawiskeun ékspansi termal anu handap (3,5 × 10⁻⁶/℃), stabilitas termal dugi ka 1000°C, sareng kakuatan fléksibel sedeng (32–35 MPa). Dasar logam nambihan kaku struktural, gampang dipasang ngalangkungan liang ulir, sareng panyalindungan tina retakan rapuh. Chuck ieu idéal pikeun ngagiling sisi tukang, motong dadu, sareng pamrosésan wafer suhu luhur dimana vakum seragam sareng kompatibilitas termal penting pisan.
Spésifikasi (dumasar kana data SiC porous anu disayogikeun):
| Properti | Nilai |
| Bahan Keramik | Silikon Karbida Berpori (SiC ≥80%) |
| Warna | Biru-hideung |
| Porositas | 35–40% |
| Ukuran Pori | 20–30 μm |
| Kapadetan | 2.1–2.3 g/cm³ |
| Permeabilitas | 60 ml/cm²·mnt |
| Kakuatan Fleksibel | 32–35 MPa |
| Koefisien Ékspansi Termal (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maks. | 1000°C |
| Résistansi Listrik | 10⁻¹⁰ Ω/cm (per data anu disayogikeun, has pikeun SiC porous) |
| Bahan Dasar Logam | Aluminium 6061 atanapi Stainless Steel 304 (opsional) |
| Kandel Dasar Logam | 10–30 mm (disaluyukeun) |
Catetan: Kakuatan fléksibel leuwih handap tibatan SiC padet kusabab porositasna. Sipat dasar logam sanés tina méja keramik.
Aplikasi:
- · Ngagiling sisi tukang wafer ipis (≤100 μm)
- · Pemasangan wafer melengkung pikeun motong dadu
- · Ngaleutikan wafer dina suhu luhur (dugi ka 1000°C)
- · Fixturing vakum pikeun substrat porous atanapi rapuh
Manufaktur:
Pelat SiC berpori (dibentuk nganggo pembentuk pori, disinter) → dilapis dugi ka rata ≤10 μm → dasar logam dimesin nganggo port vakum sareng fitur pemasangan → beungkeutan epoksi atanapi penjepitan mékanis → uji bocor hélium.
Kontrol Kualitas:
- · Porositas sareng ukuran pori diverifikasi ku SEM
- · Uji permeabilitas (aliran hawa)
- · Kerataan diukur nganggo interferometer laser
- · Laju bocor hélium <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Kaunggulan dibandingkeun Chuck Keramik Beralur atanapi Padet:
- · Teu aya tanda wafer – vakum seragam tanpa liang anu misah
- · Pori-pori anu ngabersihkeun sorangan – ngurangan panyumbatan
- · Nanganan wafer anu bengkok (dugi ka 500 μm bow)
- · Dasar logam nyegah retakan anu rapuh sareng ngagampangkeun integrasi
Watesan:
- · Kakuatan fléksibel anu langkung handap (32–35 MPa) – nyingkahan beban dampak
- · Suhu operasi diwatesan dugi ka 1000°C (SiC porous), tapi beungkeutan époksi dasar logam diwatesan dugi ka ≤200°C kecuali dijepit sacara mékanis
- · Teu kanggo vakum tekanan tinggi (struktur porous ngawatesan diferensial vakum maksimal)
Kustomisasi:
- · Dasar logam: aluminium (énténg), baja tahan karat (tahan korosi), Invar (ékspansi rendah)
- · Beungkeutan: epoksi (≤200°C) atanapi klem mékanis (dugi ka 500°C)
- · Cincin segel ujung pikeun kontrol vakum zona
Punten dicatet: Kakuatan fléksibel anu disayogikeun (32–35 MPa) sacara signifikan langkung handap tibatan keramik padet kusabab porositasna. Ati-ati dina penangananana supados sisi-sisina henteu retak.
