Efektor Tungtung Keramik Dilapis Teflon – Permukaan Anti Lengket pikeun Penanganan Wafer Sensitif
Éféktor tungtung keramik anu dilapis Teflon (PTFE) St.Cera ngagabungkeun substrat alumina kakuatan tinggi sareng lapisan PTFE anu seragam sareng rendah gesekan (ketebalan 15–30 μm). Lapisan ieu nyayogikeun koefisien gesekan anu handap pisan (≤0,1), résistansi kimia anu saé, sareng sipat anti lengket, nyegah adhesi wafer sareng ngaleungitkeun kontaminasi sisi tukang. Substrat keramik anu aya di handapeunna (99,8% Al₂O₃) nawiskeun kakuatan fléksi anu luhur (361–1000 MPa), résistansi maké, sareng stabilitas termal dugi ka 260°C (wates lapisan). Éféktor tungtung ieu idéal pikeun nanganan wafer anu hipu, ipis, atanapi lengket (contona, saatos lapisan photoresist atanapi prosés kimia).
Spésifikasi (dumasar kana substrat 99,8% Al₂O₃ kalayan lapisan PTFE):
| Properti | Nilai |
| Bahan Substrat | 99,8% Alumina (Gading) |
| Bahan Pelapis | PTFE (Teflon) |
| Kandel Lapisan | 15–30 μm |
| Koefisien Gesekan (Dilapisi) | ≤0.1 |
| Kakuatan Léntur Substrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Karasa Substrat (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Kapadetan Substrat | 3,93 g/cm³ |
| Suhu Operasi Maks (wates palapis) | 260°C |
| Kasar Beungeut (sateuacan dilapis) | Ra ≤0,4 μm |
| Kakuatan Dielektrik (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Catetan: Palapis PTFE ngawatesan suhu maksimum dugi ka 260°C; pikeun aplikasi suhu anu langkung luhur, pertimbangkeun keramik anu teu dilapis atanapi palapis sanésna.
Aplikasi:
- · Nanganan wafer saatos dilapis photoresist (permukaan anu lengket)
- · Mindahkeun wafer ipis atanapi rapuh (nyegah lengket)
- · Pakakas inspeksi semikonduktor sareng métrologi
- · Otomatisasi kamar bersih dimana kontaminasi partikel kedah diminimalkeun
Prosés Manufaktur:
Substrat keramik disinter sareng digiling sacara presisi → pangkasaran permukaan (etsa plasma atanapi grit blast) → palapis semprot PTFE → pangubaran panas dina 380°C → pamariksaan akhir. Unggal efektor tungtung dipariksa pikeun ketebalan palapis (arus eddy), adhesi (uji potong silang ASTM D3359), sareng koefisien gesekan.
Kontrol Kualitas:
Pamariksaan visual 100% pikeun liang leutik atanapi gelembung; keseragaman ketebalan lapisan dina ±5 μm; teu aya delaminasi saatos uji lengkungan 90° dina kupon saksi. Pamariksaan diménsi kana toleransi OEM (panjang ±0,05 mm, rata ≤0,1 mm).
Kaunggulan dibandingkeun sareng Lapisan Anu Henteu Dilapis atanapi Lapisan Anu Sanésna:
- · Beungeut anu henteu lengket nyegah adhesi sareng karusakan wafer
- · Koefisien gesekan panghandapna di antara lapisan keramik
- · Résistansi kimia anu saé pisan (asam, basa, pangleyur)
- · Ngurangan generasi partikel ku cara nyegah transfer bahan
Watesan (catetan ngeunaan panyimpangan matéri):
Palapis PTFE henteu diturunkeun tina tabel sipat bahan anu disayogikeun (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Sipat substrat sacara ketat nuturkeun lembar data anu disayogikeun (99,8% Al₂O₃). Sipat palapis dumasar kana spésifikasi PTFE standar industri, sabab teu aya data palapis anu disayogikeun. Pikeun aplikasi anu ngaleuwihan 260°C, disarankeun nganggo efektor tungtung keramik anu teu dilapis.*
Kustomisasi:
Sadia dina panjang 150–1500 mm, bentuk tungtung (cecekelan sisi, Bernoulli, datar), pola flens pamasangan per gambar OEM. Palapisan parsial (ngan ukur daérah kontak) atanapi panutupan pinuh opsional.
Nyuhunkeun sampel kanggo uji adhesi sareng gesekan.
