Efektor Tungtung Keramik Alumina kalayan Saluran Vakum Terpadu
Éféktor tungtung vakum alumina St.Cera ngahijikeun saluran vakum anu dimesin sacara presisi sareng liang sedot langsung kana awak alumina murni 99,8%. Desain ieu ngaleungitkeun bantalan vakum éksternal, ngamungkinkeun pengambilan wafer langsung kalayan gaya nahan anu seragam. Kakuatan fléksibel bahan anu luhur (361 MPa) sareng karasana (16 GPa) mastikeun stabilitas diménsi jangka panjang dina siklus vakum anu diulang. Karataan di sakuliah daérah bantalan dijaga dina 10 μm, nyegah setrés wafer sareng karusakan. Port vakum ayana di flens pemasangan tukang pikeun integrasi anu gampang sareng panangan robot OEM.
Spésifikasi(dumasar kana 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Ékspansi Termal | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Karataan Pad | ≤10 μm |
| Lebar Saluran Vakum | 0,5–2,0 mm |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
Aplikasi:
● Panyedot vakum tina wafer ipis atanapi bengkok
● Pangaturan wafer langsung tanpa cekelan ujung
● Transfer sél surya sareng substrat LED
Manufaktur:
Alumina kosong sinter → Pangeboran CNC 5-sumbu pikeun saluran sareng liang vakum → lapping permukaan → beberesih ultrasonik → uji bocor hélium. Unggal éféktor diuji aliran 100% pikeun keseragaman vakum.
Kauntungan:
● Teu aya bantalan vakum éksternal (ngurangan sumber partikel)
● Tekanan nahan anu seragam nyegah tanda wafer
● Inert sacara kimiawi sareng cocog sareng kamar bersih
