Bagian Keramik Alumina Aman-ESD pikeun Penanganan Wafer Sensitif-Statis
Bagian keramik alumina anu aman pikeun ESD (electrostatic discharge) ti St.Cera didamel tina 99,8% Al₂O₃ anu kualitasna luhur kalayan résistansi permukaan anu disaluyukeun 10⁶–10⁹ Ω/sq, anu kahontal ngalangkungan prosés doping atanapi palapis anu dipatenkeun. Bagian-bagian ieu sacara efektif ngaleungitkeun muatan statis, nyegah karusakan éléktrostatik kana wafer sareng alat semikonduktor anu sénsitip. Bahan dasar nahan kakuatan fléksibel anu luhur (361 MPa), karasa (16 GPa), sareng kakuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Bagian keramik anu aman pikeun ESD kalebet efektor tungtung, pin angkat, rel pituduh, sareng perlengkapan khusus pikeun otomatisasi FAB.
Spésifikasi(dumasar kana 99,8% Al₂O₃ kalayan perlakuan ESD):
| Properti | Nilai |
| Bahan Dasar | 99,8% Alumina |
| Résistansi Beungeut (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fléksibel | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Ékspansi Termal (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
| Kakuatan Dielektrik (massal) | 15×10⁶ V/m |
Catetan: Résistansi permukaan ESD henteu disayogikeun dina tabel sipat bahan anu disayogikeun. Rentang di luhur mangrupikeun standar industri pikeun keramik disipatif. Mangga ngahubungi kami kanggo laporan tés.
Aplikasi:
● Éféktor tungtung anu aman pikeun ESD pikeun transfer wafer
● Pin grounding sareng perlengkapan ESD dina peralatan FAB
● Soket uji pikeun alat anu sénsitip statis
● Pakakas kamar bersih dimana kontrol statis penting pisan
Manufaktur & Kualitas:
Pamrosésan alumina standar + perlakuan permukaan ESD → résistansi permukaan diukur per ANSI/ESD STM11.11. Unggal bagian diuji 100% nganggo éléktroda cingcin konséntris.
Kauntungan:
● Nyegah leungitna hasil anu aya hubunganana sareng ESD
● Ngajaga kakuatan mékanis sareng résistansi kimia keramik
● Teu aya generasi partikel tina debit statis
