Cincin Segel Keramik Alumina Kamurnian Tinggi pikeun Segel Kamar Suhu Tinggi
Cincin segel keramik St.Cera dirancang salaku alternatif pikeun cincin-O polimér dina lingkungan ekstrim dimana elastomer ruksak. Diproduksi tina 99,8% alumina murni tinggi (Al₂O₃), cincin segel kaku ieu dianggo dina aplikasi segel statis — biasana dipasangkeun sareng logam lemes atanapi gasket grafit — pikeun nyayogikeun vakum atanapi penahanan gas anu tiasa dipercaya dina suhu dugi ka 800°C sareng dina lingkungan plasma atanapi kimia anu agrésif. Bahan ieu nawiskeun nol outgassing, kakuatan komprési anu luhur (kakuatan fléksibel anu mendasari 361 MPa), sareng inertness kimia (tahan ka halogen, asam, sareng alkali kecuali HF). Permukaan segel anu dilapis presisi (karataan ≤5 μm, karasana permukaan Ra ≤0,2 μm) mastikeun kontak anu kedap bocor sareng komponén logam atanapi keramik anu dipasangkeun.
Spésifikasi(dumasar kana 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Nyerep Cai | 0% |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kakuatan Komprési (perkiraan) | >2000 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Ékspansi Termal (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C (hawa), 1600°C (iner) |
| Lapisan Permukaan (lapisan segel) | Ra ≤0.2 μm (dilapis) |
| Karataan (per 25 mm) | ≤5 μm |
| Laju Bocor Hélium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (kalayan gasket anu pas) |
Aplikasi:
- · Segel statis ruang prosés semikonduktor (CVD, PVD, etch)
- · Segel panto tungku suhu luhur
- · Flensa asupan vakum
- · Panutupan wadah réaktor kimia
Prosés Manufaktur:
Pencét isostatik → sintering dina suhu 1600°C → lapping dua sisi anu presisi pikeun ngahontal beungeut segel anu rata sareng mulus → chamfering ujung → beberesih ultrasonik. Unggal cincin diuji bocorna 100% dina detektor bocor hélium kalayan gasket logam standar.
Kontrol Kualitas:
- · Pamariksaan diménsi CMM (ID, OD, ketebalan, paralelisme)
- · Profilometer permukaan pikeun Ra sareng waviness
- · Pangukuran kerataan nganggo optik datar
- · Uji bocor hélium (métode tekanan balik)
Kaunggulan dibandingkeun O-ring Polimer:
- · Tahan 800°C vs. <300°C pikeun FFKM
- · Nol outgassing — teu aya kontaminasi lingkungan vakum
- · Tahan ka sadaya kimia plasma (fluorin, klorin, oksigén)
- · Teu aya set komprési atanapi deformasi permanén
- · Umur layanan anu teu terbatas dina lingkungan anu bersih
Watesan (Catetan Kritis):
- · Lain O-ring— éta mangrupikeun cingcin keramik kaku anu meryogikeun gasket lemes (tambaga, aluminium, atanapi grafit) pikeun ngégélna.
- · Henteu nampung gerakan dinamis atanapi misalignment flens anu ageung.
- · Biaya awal anu langkung luhur tibatan O-ring polimér, tapi umur anu langkung lami ngirangan biaya kapamilikan.
- · Rapuh — ati-ati dina penangananana; hindari dampak titik atanapi tegangan lentur.
Catetan:Data di luhur nuturkeun tabel sipat Al₂O₃ anu disayogikeun. Teu aya data pikeun bahan elastomer anu disayogikeun. Produk ieu mangrupikeun cingcin segel statis, sanés cingcin-O elastomer. Mangga konfirmasi naha ieu nyumponan sarat aplikasi anjeun.
