Pelat Distribusi Gas Alumina pikeun Pancuran CVD/PVD
Pelat distribusi gas (sirah pancuran) St.Cera didamel kalayan presisi tina keramik alumina 99,8% anu kualitasna luhur. Pelat ieu ngagaduhan sababaraha liang mikro (diaméter 0,3–1,5 mm) anu mastikeun aliran gas anu seragam di sakuliah permukaan wafer salami prosés CVD, PVD, atanapi ALD. Kakuatan dielektrik pelat anu luhur (>15 × 10⁶ V / m) sareng résistansi plasma ngajantenkeun éta penting pikeun déposisi pilem ipis semikonduktor.
Spésifikasi:
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Al₂O₃ atanapi SiC |
| Diaméter | 100 – 1500mm (bunder) atanapi pasagi panjang |
| Kandel | 5 – 20 mm |
| Diaméter liang | 0,3 – 1,5 mm |
| Pola Liang | Adat (segitiga, pasagi, radial) |
| Karataan | ≤10 μm di sakuliah area pinuh |
| Kasar Permukaan | Ra ≤0,6 μm (sisi gas) |
| Babandingan Area Terbuka | 5–15% |
Aplikasi:
Pelat sirah pancuran PECVD
Injektor gas ALD
Pelat distribusi gas ruang etsa
Komponen réaktor MOCVD
Manufaktur:
Substrat alumina dilapis rata → Pangeboran CNC nganggo alat anu dilapis inten (toleransi posisi liang ±0,02 mm) → deburring → beberesih ultrasonik → Bungkusan Kelas 100.
Kontrol Kualitas:
Unggal pelat dipariksa 100% pikeun ukuran liang (sistem visi), kerataan (interferometer laser), sareng keseragaman aliran gas (pemetaan tekanan). Teu aya retakan mikro dina mikroskop 20x.
Kaunggulan dibandingkeun Pelat Logam:
Teu aya kontaminasi logam dina pilem ipis
Produksi partikel anu langkung handap (henteu aya serpihan korosi)
Tahan plasma pembersih anu agrésif (CF₄, NF₃)
Fitur Khusus:
Saluran gas sisi tukang, liang counter-bored, segel sisi, sareng tingkatan bahan anu béda (SiC pikeun konduktivitas termal anu langkung luhur, palapis Y₂O₃ pikeun résistansi plasma).
Kami nyayogikeun verifikasi CAD sareng simulasi aliran sateuacan diproduksi.
