Pin Pangrojong Keramik pikeun Perlengkapan Prosés Semikonduktor
Pin pangrojong keramik St.Cera (ogé katelah pin pangangkat atanapi pin pangrojong) dianggo dina rohangan prosés semikonduktor pikeun ngangkat wafer atanapi substrat nalika diolah, dipanaskeun, atanapi didinginkan. Diproduksi tina 99,8% alumina atanapi silikon nitrida, pin ieu nawiskeun kakuatan komprési anu luhur, stabilitas termal, sareng résistansi kimia. Desain ujung hémisfér atanapi datar nyegah goresan wafer.
Spésifikasi(Alumina 99,8%):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Al₂O₃ atanapi Si₃N₄ |
| Panjangna | 10 – 100 mm |
| Diaméter | 1 – 10 mm |
| Wangun Ujung | Datar, hemisfer, runcing |
| Kakuatan Kompresi (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Suhu Operasi Maksimum (Al₂O₃) | 1600°C |
| Beungeut Rengse | Dilapis (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleransi dina Diaméter | ±0,01 mm |
Aplikasi:
Pin angkat dina kamar CVD/PVD
Pin pangrojong pikeun manggang dina hotplate
Struktur pangrojong kartu probe
Pangrojong parahu tungku kuarsa
Manufaktur:
Panggilingan OD tanpa tengah anu presisi → panggilingan inten profil ujung → beberesih ultrasonik → pamariksaan diménsi 100%.
Kontrol Kualitas:
CMM pikeun panjang/diaméter, komparator optik pikeun radius ujung, uji beban pikeun mastikeun kakuatan komprési (sampel acak per lot). Teu aya kontaminasi feromagnetik (diverifikasi ku magnet).
Kaunggulan dibandingkeun Pin Logam atanapi Kuarsa:
Umur 5x leuwih lila tibatan stainless steel
Teu aya kontaminasi logam dina rohangan prosés
Kamampuh suhu anu langkung luhur tibatan kuarsa (1600°C vs 1100°C)
Beungeut anu henteu lengket (ngurangan adhesi partikel)
Kustomisasi:
Profil sababaraha tungtung, dasar ulir, atanapi aci anu meruncing.
Kami ogé nyayogikeun pin SiC pikeun lingkungan plasma anu ekstrim.
