Lengan Robot Keramik Alumina Kamurnian Tinggi pikeun Pangaturan Wafer
Leungeun robot keramik alumina St.Cera dirarancang sacara presisi tina 99,8% Al₂O₃ (alumina) anu mibanda kemurnian luhur. Leungeun ieu ngagabungkeun kakuatan fléksibel anu luar biasa (361 MPa), karasana luhur (16 GPa), sareng kapadetan anu handap (3,93 g/cm³), ngahasilkeun leungeun anu hampang tapi kaku pikeun transfer wafer semikonduktor. Koéfisién ékspansi termal bahan (7,2 × 10⁻⁶/°C) cocog pisan sareng silikon, ngaminimalkeun ketidakcocokan termal salami diprosés.
Spésifikasi (dumasar kana 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Warna | Gading |
| Kapadetan | 3,93 g/cm³ |
| Kakuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Ékspansi Termal | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kakuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
- Robot transfer wafer vakum (200mm/300mm)
- Sistem penanganan atmosfir
- Leungeun éféktor tungtung pikeun otomatisasi FAB
Prosés Manufaktur:
Pencét isostatik → mesin héjo → sintering dina 1600°C → panggilingan presisi CNC → beberesih ultrasonik → kemasan kamar bersih Kelas 100. Unggal panangan dipariksa 100% ku CMM pikeun karataan (±0,01 mm) sareng karasana permukaan (Ra ≤0,4 μm).
Kontrol Kualitas:
St.Cera parantos disertifikasi ISO 9001:2015. Kami ngalaksanakeun uji penetrasi pewarna pikeun mikro-retakan, lenturan tilu titik pikeun kakuatan fléksibel, sareng uji kakuatan dielektrik numutkeun ASTM D149.
Kaunggulan dibandingkeun sareng panangan logam:
- 50% langkung hampang tibatan baja tahan karat
- Henteu aya korosi galvanik
- Generasi partikel anu langkung handap (≤0,05 partikel/cm²)
- Sadia palapis anu aman pikeun ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Kustomisasi:
Panjangna ti 150mm dugi ka 450mm, bentuk tungtung (cecekelan sisi, Bernoulli, vakum), sareng pola flens pamasangan per gambar OEM. Prototipe dina 2 minggu.
Kanggo pesenan jumlah ageung, mangga nyuhunkeun kutipan harga.
